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Product Category中圖儀器SuperViewW1白光光學(xué)干涉儀品牌采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)高測(cè)量精度重復(fù)性和高粗糙度RMS重復(fù)性。采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng),保證測(cè)量精度高.
中圖儀器VT6000共聚焦3D顯微鏡是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。主要采用3D捕獲的成像技術(shù),它通過數(shù)碼相機(jī)針孔的高強(qiáng)度激光來實(shí)現(xiàn)數(shù)字成像,具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力。所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡,擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè)。
NS系列微觀表面臺(tái)階顯微檢測(cè)儀是利用光學(xué)干涉原理,通過測(cè)量膜層表面的臺(tái)階高度來計(jì)算出膜層的厚度,500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī),即時(shí)進(jìn)行高精度定位測(cè)量??梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸?shù)娇刂齐娔X上,使得測(cè)量更加直觀。
SuperViewW1白光干涉儀半導(dǎo)體測(cè)量?jī)x器具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測(cè)。除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外,具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。
共焦顯微鏡系統(tǒng)所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡。VT6000共聚焦光學(xué)測(cè)量顯微鏡技術(shù)以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,在相同物鏡放大的條件下,所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì),橫向分辨率更高。
NS200臺(tái)階厚度測(cè)量?jī)x能夠測(cè)量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度,可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料,是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x。
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