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三坐標(biāo)測量機(jī)檢測半導(dǎo)體設(shè)備部件同心度的應(yīng)用
2025-07-18

在半導(dǎo)體設(shè)備這一精度決定成敗的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),同心度等關(guān)鍵幾何參數(shù)的精準(zhǔn)控制是保障設(shè)備可靠運(yùn)行、提升國產(chǎn)競爭力的核心要素。設(shè)備中的微小瑕疵足以引發(fā)災(zāi)難性后果。以軸套為例,兩側(cè)圓柱用于裝配軸承,如果不同心,會(huì)造成軸在旋轉(zhuǎn)的時(shí)候別著勁,輕則只是噪音...

  • 2023-02-22

    對(duì)于現(xiàn)代愈發(fā)復(fù)雜的工藝檢測,諸如半導(dǎo)體、電子封裝及光學(xué)加工等產(chǎn)業(yè)中,由于表面微觀輪廓結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)確性決定著產(chǎn)品的功能和效能,所以不管是拋光表面還是粗糙表面的工件(諸如半導(dǎo)體硅片及器件、薄膜厚度、光學(xué)器件表面、其他材料分析及微表面研究),都需要測...

  • 2023-02-22

    高分辨率分析表面形貌對(duì)確定表面粗糙度、反光特性、摩擦學(xué)性能及表面質(zhì)量等相關(guān)參數(shù)具有重要意義。在汽車工業(yè)中,汽車關(guān)鍵部位微型化和納米化的表面結(jié)構(gòu)對(duì)于其表面特性具有很大的影響,燃料供應(yīng)和驅(qū)動(dòng)技術(shù)中的關(guān)鍵部件必須經(jīng)過精密制造和檢驗(yàn)。而VT6000...

  • 2023-02-15

    以共聚焦技術(shù)為原理,用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測量的VT6000共聚焦顯微鏡,可對(duì)材料樣品的表面形貌直接進(jìn)行成像,橫向分辨率可達(dá)1nm,Z軸分辨率可達(dá)0.5nm。不僅可對(duì)樣品表面形貌進(jìn)行測量,提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能...

  • 2023-02-15

    熒光顯微鏡主要應(yīng)用在生物領(lǐng)域及醫(yī)學(xué)研究中,能得到細(xì)胞或組織內(nèi)部微細(xì)結(jié)構(gòu)的熒光圖像,在亞細(xì)胞水平上觀察諸如Ca2+、PH值,膜電位等生理信號(hào)及細(xì)胞形態(tài)的變化,是形態(tài)學(xué),分子生物學(xué),神經(jīng)科學(xué),藥理學(xué),遺傳學(xué)等領(lǐng)域中新一代強(qiáng)有力的研究工具。以共聚...

  • 2023-02-15

    影像測量儀器是廣泛應(yīng)用于機(jī)械、電子、儀表的儀器。主要由機(jī)械主體、標(biāo)尺系統(tǒng)、影像探測系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)和測量軟件等與高精密工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成的光電測量儀器。一般分為三大類:手動(dòng)影像儀、自動(dòng)影像儀和閃測影像儀。測量元素主要有:長度、寬度、高度、孔距...

  • 2023-02-08

    共聚焦顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術(shù),它通過數(shù)碼相機(jī)針孔的高強(qiáng)度激光來實(shí)現(xiàn)數(shù)字成像,具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力。共聚焦顯微鏡成像原理共焦顯微鏡裝置是在被測對(duì)象焦平面的共軛面上放置兩個(gè)小孔,其中一個(gè)放在光源前面,另一個(gè)放在探測器前面,如圖...

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